Nano lygmens bandinių paviršių ir nano-lygmens darinių elementinės sudėties (ir dalinės cheminės informacijos) matavimas

Itin tikslus (6 nm erdvinė skyra, 2-3 atominių monosluoksnių tūrinė (gylio) skyra) paviršinių ir tūrinių (iki 1-2 μm gylio) darinių identifikavimas, elementinės sudėties nustatymas, cheminės (ryšių) informacijos gavimas. Galimos problemos ir apribojimai tiriant ypač dielektrinius bandinius.

Įrenginys skirtas atlikti bandinių paviršių, nano-lygmens darinių, plonų dangų ir sąlyčio zonų elementinės bei cheminės būsenos analizę skenuojančiosios Auger elektronų spektroskopijos bei skenuojančiosios Auger elektronų mikroskopijos metodais