Energijos akumuliavimas

Elektrodų dangų formavimas

Energijos generavimo, kaupimo ir saugojimo įrenginių elektrodų dangų formavimas ir tyrimas.

Aukšto vakuumo elektroninio spindulio garinimo sistema su likutiniu dujų analizatoriumi ir jonų pluoštelio šaltiniu

Sistema skirta įvairių dangų pavidalo medžiagų sintezei panaudojant fizikines garinimo elektroniniu spinduliu technologijas.

Aukšto vakuumo magnetroninio garinimo sistema su trimis magnetronais

Vakuuminio garinimo sistema skirta plonasluoksnių metalinių, puslaidininkinių ir oksidinių dangų/membranų plonų dangų formavimui magnetroninio garinimo metodu.

Joninio – elektroninio laidumo matavimo įrenginys

Įrenginys skirtas charakterizuoti medžiagų elektrines savybes (impedanso spektroskopiniai tyriniai) aukštoje temperatūroje kontroliuojamoje atmosferoje.

Keturių zondų matavimo prietaisas

Įrenginys dirbantis keturių zondų matavimo metodu yra skirtas specifinės medžiagos varžos tyrimams.

Kietumo matuoklis

Įrenginys skirtas matuoti įvairių medžiagų (metalų, keramikos, puslaidininkių ir kt.) paviršiaus kietumą.

Paviršiaus profilometras

Prietaisas skirtas atlikti precizinius įvairių paviršių topografijos matavimus.

Atominės jėgos mikroskopas

Atominės jėgos mikroskopas leidžia gauti didelės skiriamosios gebos tiriamojo bandinio paviršiaus (3D) vaizdą.

Dujų adsorbcijos/desorbcijos įrenginys

PCTPro-2000 specialiai suprojektuotas metalų hidridų tyrimams, bet gali būti naudojamas ir kitų dujų adsorbcijos tyrimams.

Aukštos temperatūros elektrinė horizontali vamzdinė krosnis

Aukštos temperatūros elektrinė krosnis skirta įvairiems terminio apdirbimo procesams ore.

Inertinės aplinkos stendas MBraun

Keturių pirštinių inertinės aplinkos stendas naudotinas užtikrinant medžiagų išlaikymą švarioje atmosferoje siekiant išvengiant sąlyčio su oru.

Rutulinio malimo įrenginys

Įrenginys skirtas greitam sausų bei suspensijuotų kietų, vidutinio kietumo bei minkštų medžiagų maišymui bei trynimui iki koloidinio dydžio dalelių.

Mikrosvarstyklės

Svarstyklės skirtos tiksliam nedidelių medžiagos kiekių svėrimui.

Episkopinis apšvietimo mikroskopas

Prietaisas skirtas stipriai padidintam, plika akim neįžiūrimų objektų (arba jų struktūros detalių), vaizdui gauti.

D8Bruker Rentgeno spindulių diffraktometras

Įrenginys skirtas nedustruktyviai visų tipų medžiagų, miltelių bei plonų dangų bandinių analizei.

Skenuojantis elektroninis mikroskopas (SEM)

Laidžių, puslaidininkinių ir nelaidžių bandinių paviršių struktūros ir morfologijos tyrimas įskaitant elementinės sudėties matavimus EDS metodu.

Optinių tyrimų stendas

Didelės skyros ultravioletinės-regimosios srities spektrofotometras tinkamas tiek skystų, tiek ir kietų bandinių kokybiniams bei kiekybiniams optiniams tyrimams.

N2, O2, H2 kiekio analizatorius

Įrenginys skirtas matuoti azoto, deguonies ir vandenilio kiekį įvairiuose metaluose ir kitose neorganinėse medžiagose.

Bendros paskirties rusenančio išlydžio optinės emisijos spektrometras – GDS

Įrenginys skirtas kietų kūnų (metalų, lydinių ir kitų medžiagų) kokybinei ir kiekybinei elementinei analizei, įskaitant plonų dangų/sluoksnių sistemų su laidžiais ir nelaidžiais sluoksniais gylių profiliavimą.

XPS – Rentgeno spindulių fotoelektroninis spektroskopas

Įrenginys skirtas rentgeno spindulių fotoelektroninės spektroskopijos (XPS) metodu matuoti įvairių kietų medžiagų (įskaitant plonas dangas ir nano-miltelius) elementinę ir cheminę sudėtį (ryšius).

Auger elektronų spektroskopas

Įrenginys skirtas atlikti bandinių paviršių, nano-lygmens darinių, plonų dangų ir sąlyčio zonų elementinės bei cheminės būsenos analizę.

Bandinių paviršiaus analizė optiniu mikroskopu

Galimybė atlikti bandinių analizę aukštos kokybės optiniu mikroskopu su galimybę vaizdus išsaugoti didelės skiriamosios gebos nuotraukomis. Mikroskopo didinimas parenkamas tarp 100, 200, 500 ir 1000 kartų. Nuotraukos daromos specialiai optinei mikroskopijai sukurta skaitmenine NIKON DSF-1Fi kamera, kurios daromų nuotraukų rezoliucija yra 2,560 x 1,920 taškų.

Nedestruktyvi visų tipų medžiagų, miltelių bei plonų dangų bandinių kristalinės struktūros analizė rentgeno spindulių difraktometru.

Galima vienu matavimu nustatyti visas kristalines fazes, esančias bandinyje. Taip pat yra išplėstinės galimybės difrakcijos matavimus atlikti tuo pat metu kontroliuojant aplinkos temperatūrą (nuo skysto azoto iki 1600 C) bei supančios aplinkos sudėtį (galima naudoti aukštą vakuumą arba įleisti norimą kiekį dujų (tinkamos daugelis dujų) iki maksimalaus 5 bar slėgio.

Greitas vidutinio tikslumo cheminės sudėties tyrimas EDS mikroanalizės sistema

Kiekybiškai ir kokybiškai nustatoma bandinio elementinė sudėtis detektuojant cheminius elementus nuo Boro5 iki Americio95 pasirinktame taške (erdvinė skyra 1-2 μm, priklausomai nuo matavimo sąlygų informacija gaunama iš 0,5-2 μm gylio). Taip pat yra galimybė bandinio plote nustatyti atskirų cheminių elementų pasiskirstymo žemėlapį.

Bandinių analizė kintamo slėgio skenuojančiu elektroniniu mikroskopu (variable pressure SEM)

Kintamo slėgio skenuojančiu elektroniniu mikroskopu galima analizuoti tiek laidžius, tiek ir dielektrinius bandinius. Taip pat su tam tikromis išlygomis galima analizuoti biologinius objektus. SEM skiriamoji geba prie 30 kV greitinančios įtampos 3 nm, tuo tarpu, esant 3 kV greitinančiai įtampai, pasiekiama 8-10 nm skyra. Vaizdus galime formuoti tiek antrinių, tiek ir atsispindėjusių elektronų detektoriais, taigi yra galimybė atskirai išryškinti bandinių reljefo, elementinės sudėties netolygumus, išgauti detalius pseudo 3D vaizdus.

Medžiagų optinio pralaidumo analizė plataus spektro optiniu spektrofotometru

Kokybiniai ir kiekybiniai optinio pralaidumo matavimai 163-1100 nm spektriniame intervale.

Tikslus azoto, deguonies ir vandenilio kiekio įvairiuose metaluose, jų lydiniuose ir kitose medžiagose nustatymas lydimo inertinių dujų aplinkoje metodu

Inertinių dujų lydimo principu (inert gas fusion principe) atliekame tikslų net ir labai mažų azoto, deguonies ir vandenilio kiekio įvairiuose medžiagose analizę. Matavimams reikalingas iki 1-2g tiriamos medžiagos kiekis, kuris analizės metu yra išlydomas aukštoje temperatūroje ir matuojamas išsiskyrusių dujų kiekis

Greita, mažos lokalizacijos kokybinė/kiekybinė kietų kūnų (metalų, jų lydinių ir puslaidininkių) elementinės sudėties analizė (įskaitant profiliavimą) rusenančio išlydžio optinės emisijos spektrometru

Greita, mažo tikslumo (erdvinis tikslumas apie 2-4 milimetrus, profiliavimo gylio tikslumas dešimtys-šimtai nanometrų) kokybinė ir kiekybinė elementinės sudėties analizė. Galimybės atlikti gylio profiliavimą, sudėties kontrolę ir palyginimus tarp paviršinių bei gilesnių sluoksnių sudėties.

Nano lygmens bandinių paviršių ir nano-lygmens darinių elementinės sudėties (ir dalinės cheminės informacijos) matavimas

Itin tikslus (6 nm erdvinė skyra, 2-3 atominių monosluoksnių tūrinė (gylio) skyra) paviršinių ir tūrinių (iki 1-2 μm gylio) darinių identifikavimas, elementinės sudėties nustatymas, cheminės (ryšių) informacijos gavimas. Galimos problemos ir apribojimai tiriant ypač dielektrinius bandinius.

Elektrodų dangų formavimas

Energijos generavimo, kaupimo ir saugojimo įrenginių elektrodų dangų formavimas ir tyrimas.

Aukšto vakuumo elektroninio spindulio garinimo sistema su likutiniu dujų analizatoriumi ir jonų pluoštelio šaltiniu

Sistema skirta įvairių dangų pavidalo medžiagų sintezei panaudojant fizikines garinimo elektroniniu spinduliu technologijas.

Aukšto vakuumo magnetroninio garinimo sistema su trimis magnetronais

Vakuuminio garinimo sistema skirta plonasluoksnių metalinių, puslaidininkinių ir oksidinių dangų/membranų plonų dangų formavimui magnetroninio garinimo metodu.

Joninio – elektroninio laidumo matavimo įrenginys

Įrenginys skirtas charakterizuoti medžiagų elektrines savybes (impedanso spektroskopiniai tyriniai) aukštoje temperatūroje kontroliuojamoje atmosferoje.

Keturių zondų matavimo prietaisas

Įrenginys dirbantis keturių zondų matavimo metodu yra skirtas specifinės medžiagos varžos tyrimams.

Kietumo matuoklis

Įrenginys skirtas matuoti įvairių medžiagų (metalų, keramikos, puslaidininkių ir kt.) paviršiaus kietumą.

Paviršiaus profilometras

Prietaisas skirtas atlikti precizinius įvairių paviršių topografijos matavimus.

Atominės jėgos mikroskopas

Atominės jėgos mikroskopas leidžia gauti didelės skiriamosios gebos tiriamojo bandinio paviršiaus (3D) vaizdą.

Dujų adsorbcijos/desorbcijos įrenginys

PCTPro-2000 specialiai suprojektuotas metalų hidridų tyrimams, bet gali būti naudojamas ir kitų dujų adsorbcijos tyrimams.

Aukštos temperatūros elektrinė horizontali vamzdinė krosnis

Aukštos temperatūros elektrinė krosnis skirta įvairiems terminio apdirbimo procesams ore.

Inertinės aplinkos stendas MBraun

Keturių pirštinių inertinės aplinkos stendas naudotinas užtikrinant medžiagų išlaikymą švarioje atmosferoje siekiant išvengiant sąlyčio su oru.

Rutulinio malimo įrenginys

Įrenginys skirtas greitam sausų bei suspensijuotų kietų, vidutinio kietumo bei minkštų medžiagų maišymui bei trynimui iki koloidinio dydžio dalelių.

Mikrosvarstyklės

Svarstyklės skirtos tiksliam nedidelių medžiagos kiekių svėrimui.

Episkopinis apšvietimo mikroskopas

Prietaisas skirtas stipriai padidintam, plika akim neįžiūrimų objektų (arba jų struktūros detalių), vaizdui gauti.

D8Bruker Rentgeno spindulių diffraktometras

Įrenginys skirtas nedustruktyviai visų tipų medžiagų, miltelių bei plonų dangų bandinių analizei.

Skenuojantis elektroninis mikroskopas (SEM)

Laidžių, puslaidininkinių ir nelaidžių bandinių paviršių struktūros ir morfologijos tyrimas įskaitant elementinės sudėties matavimus EDS metodu.

Optinių tyrimų stendas

Didelės skyros ultravioletinės-regimosios srities spektrofotometras tinkamas tiek skystų, tiek ir kietų bandinių kokybiniams bei kiekybiniams optiniams tyrimams.

N2, O2, H2 kiekio analizatorius

Įrenginys skirtas matuoti azoto, deguonies ir vandenilio kiekį įvairiuose metaluose ir kitose neorganinėse medžiagose.

Bendros paskirties rusenančio išlydžio optinės emisijos spektrometras – GDS

Įrenginys skirtas kietų kūnų (metalų, lydinių ir kitų medžiagų) kokybinei ir kiekybinei elementinei analizei, įskaitant plonų dangų/sluoksnių sistemų su laidžiais ir nelaidžiais sluoksniais gylių profiliavimą.

XPS – Rentgeno spindulių fotoelektroninis spektroskopas

Įrenginys skirtas rentgeno spindulių fotoelektroninės spektroskopijos (XPS) metodu matuoti įvairių kietų medžiagų (įskaitant plonas dangas ir nano-miltelius) elementinę ir cheminę sudėtį (ryšius).

Auger elektronų spektroskopas

Įrenginys skirtas atlikti bandinių paviršių, nano-lygmens darinių, plonų dangų ir sąlyčio zonų elementinės bei cheminės būsenos analizę.