XPS – Rentgeno spindulių fotoelektroninis spektroskopas

Įrenginio modelis

ULVAC-PHI 5000 Versaprobe

Pagaminimo vieta

JAV, Japonija

Paskirtis

Įrenginys skirtas rentgeno spindulių fotoelektroninės spektroskopijos (XPS) metodu matuoti įvairių kietų medžiagų (įskaitant plonas dangas ir nano-miltelius) elementinę ir cheminę sudėtį (ryšius).

Techniniai parametrai

Pasiekiamas maksimalus vakuumas – <6.7×10-8 Pa (5×10-10 Torr);
Maksimali Ar jonų patrankos srovės – ne mažesnė nei 5 µA, esant 5 kV įtampai;
XPS energetinė skyra matuojant Ag – sidabro 3d5/2 smailės plotis ties puse aukščio (FWHM) < 0.50 eV;
XPS energetinė skyra matuojant PET – O=C-O smailės C 1s spektre smailės plotis ties puse aukščio (FWHM) < 0.85 eV;
Skenuojančiojo rentgeno spindulio taško dydis nuo 10 µm iki 300 µm.

Padalinys

Vandenilio energetikos technologijų centras (18)

Užklausa dėl produkto